Halbleiter

Fabrikationsstätten für die Chip- und Waferherstellung erfordern allerhöchste Luftreinheit und Kontrolle aller physikalischen Parameter in sehr engen Toleranzen. 

Die Integration des gesamten Prozessequipments unter Berücksichtigung unterschiedlicher Herstellungstechnologien stellt höchste Anforderungen an die Flexibilität und Integrationsfähigkeit der Raumkomponenten. 

Über die bewährten Reinraumprodukte hinaus bietet Viessmann Technologies ein Komplettprogramm an aktiven Schleusen für den Personal- und Materialfluss.